上海捷福瑞環(huán)保介紹：超純水在半導(dǎo)體等行業(yè)應(yīng)用

超純水：既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。我們根據(jù)水的電阻率來(lái)判斷水的純度，一般純水電阻率為10兆歐左右，高純水10-15兆歐，超純水電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值（25℃）。

超純水作為電子制造中常見(jiàn)水，其制造離不開(kāi)電子超純水設(shè)備。該設(shè)備可以保證電子產(chǎn)品所需超純水高質(zhì)量的產(chǎn)出，從而確保適用電子制造中硅片、半導(dǎo)體材料、晶元材料等清洗使用。所以，電子超純水設(shè)備廣泛地用于電子行業(yè)中。

電子行業(yè)中集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，芯片相當(dāng)于電子行業(yè)的“大腦”，雖然只有指甲蓋大小，但一個(gè)芯片板上要放上數(shù)十億個(gè)納米級(jí)別的晶體管。在芯片生產(chǎn)時(shí)80%以上的工序都需要經(jīng)過(guò)化學(xué)處理，而每一道化學(xué)處理都離不開(kāi)水，因此半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于生產(chǎn)用水的水質(zhì)要求也是相當(dāng)嚴(yán)格，因?yàn)橐坏┧|(zhì)不合格，或者是水中含有雜質(zhì)，就會(huì)降低器件的性能，降低成品率，因此在生產(chǎn)時(shí)需要用到超純水。芯片行業(yè)用水是否合格，也決定著產(chǎn)品是否能取勝，因此超純水的制備關(guān)鍵成為了芯片行業(yè)的“決勝點(diǎn)”。

超純水不達(dá)標(biāo)對(duì)電子行業(yè)芯片的影響:

超純水的一般制備工藝及流程：

⒈預(yù)處理----復(fù)床 ----混床---拋光樹(shù)脂

⒉預(yù)處理----反滲透---混床---拋光樹(shù)脂

⒊預(yù)處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹(shù)脂

超純水，是一般工藝很難達(dá)到的程度，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理四大步驟，多級(jí)過(guò)濾、高性能離子交換樹(shù)脂、超濾過(guò)濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm（25℃）。

離子交換樹(shù)脂混床是超純水生產(chǎn)制備過(guò)程中關(guān)鍵的一步，正常運(yùn)行產(chǎn)水時(shí)水中的陰、陽(yáng)離子幾乎同時(shí)與樹(shù)脂中的離子發(fā)生置換反應(yīng)。初級(jí)混床是混合離子交換樹(shù)脂的簡(jiǎn)稱(chēng)，即把陽(yáng)，陰離子交換樹(shù)脂按照一定比例混合充填于同一交換裝置中，目的是除去水中的雜質(zhì)陰陽(yáng)離子。一般陽(yáng)樹(shù)脂的比重大于陰樹(shù)脂的比重，因此在混床內(nèi)陰樹(shù)脂在上、陽(yáng)樹(shù)脂在下。由于樹(shù)脂選型的差異，陽(yáng)、陰樹(shù)脂裝填比例有1:2、1:1.5 不等。

MB-106為高階核子級(jí)拋光樹(shù)脂，是由核子級(jí)強(qiáng)酸型陽(yáng)離子樹(shù)脂T-46及核子級(jí)強(qiáng)堿型陰離子樹(shù)脂A-33以1:2體積比的計(jì)量比例，預(yù)先混合的混床級(jí)離子交換樹(shù)脂,專(zhuān)門(mén)提供給超純水系統(tǒng)拋光用，具有的交換容量及優(yōu)越的物理特性。適合用于電子產(chǎn)業(yè) ，生產(chǎn)半導(dǎo)體及映像管產(chǎn)業(yè)，實(shí)驗(yàn)室，激光，精儀器，醫(yī)用行業(yè)等需要超純水的行業(yè)，以及核電廠(chǎng)等使用。在全球有數(shù)十家核電廠(chǎng)使用我們的拋光樹(shù)脂。

MB-115是強(qiáng)酸陽(yáng)離子交換樹(shù)脂T-46（H）和1：1.5體積比的強(qiáng)堿陰離子交換樹(shù)脂TA-33。MB- 115 是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于獲得低電導(dǎo)率水的拋光劑。 是制造半導(dǎo)體的電子行業(yè)的理想選擇。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、具有交換容量及優(yōu)越的物理特性

2、在全球已有數(shù)十家核電廠(chǎng)使用我們的拋光樹(shù)脂

3、為階核子級(jí)拋光樹(shù)脂，出水穩(wěn)定達(dá)標(biāo)