JFR-300 氯化銅蝕刻安定劑
簡介：
JFR-300安定劑是一專為氯化銅蝕刻液設(shè)計(jì)的添加藥劑,主要為減少蝕刻側(cè)蝕(提升蝕刻后之蝕刻因子>現(xiàn)況50%以上) 。尤其是針對(duì)高密度及細(xì)線路(Fine pitch)的工作基板為產(chǎn)品主要訴求。
?JFR-300安定劑除不影響蝕刻后銅離子回收的作業(yè),另外其穩(wěn)定的蝕刻能力均較以往一般的氯化銅蝕刻藥劑并更優(yōu)于一般的設(shè)備操作。
簡介2
(1)操作簡單。
(2)蝕刻速度穩(wěn)定,線路均勻一致。
(3)廢水處理容易。
(4)噴灑式(SPRAY)可使用。
(5)各種材質(zhì)設(shè)備皆可使用。
JFR-300特性3
JFR-300操作方式?
配槽方式：建?。╲/v %）
JFR-300：3%~5%(添加于氯銅蝕刻工作液)?操作條件溫度:50~55℃噴灑時(shí)間: 100~150sec噴灑壓力：2.0~2.5kg
?將JFR-300安定劑按照工作槽體積比3~5%的比例加入氯化銅蝕刻溶液中，攪拌循環(huán)均勻即可使用(建議循環(huán)>20min,依照設(shè)備循環(huán)能力而定)。
?(耗用)添加：依照蝕刻工作槽添加藥液(含鹽酸,再生劑,水)總量添加3%。
※每90~120 PNL約耗用1L JFR-300安定劑。JFR-300耗用量5
JFR-300 工作槽藥液管理與分析方法
以UV分析俄器梭測槽液澧度控制3±1%。(澧度不足畤按槽精比例添加JFR-300安定劑,過高則以氯化銅蝕刻液進(jìn)行稀釋)
?UV分析方法
先取原氯化銅蝕刻液先稀釋1000倍數(shù)攪拌后置入石英cell，然后以880nm作UV測量當(dāng)作background。
2.取標(biāo)準(zhǔn)樣品(氯化銅添加安定劑3%)再重覆上述步驟，然后去作測量再觀察吸收值是多少。
?計(jì)算：JFR-300安定劑（%）＝UV吸收值?10JFR-300
工作槽藥液管理與分析方法
將建浴完成的工作槽取1/1000。
2.再取1/1000的10ml加入指試藥劑反應(yīng)2~3分鐘。
3.設(shè)定UV波長約880nm。
4.將顯示值管控為0.2~0.4ABS 即為安定劑管控濃度。
JFR-300蝕刻因子測試結(jié)果
JFR-300蝕刻因子測試結(jié)果
for Fine pitch for PCB
JFR-300 SEM 線路觀察比較
JFR-300蝕刻后蝕刻因子數(shù)據(jù)
JFR-300蝕刻因子數(shù)據(jù)比較
結(jié)果與討論
氯化銅蝕刻液添加JFR-300安定劑經(jīng)相同條件的設(shè)備測試后,提升的蝕刻因子≒25。(一般未添加的蝕刻因子≒1.5~2)結(jié)果與討論13
(附件)臺(tái)灣地區(qū)某工廠JFR-300測試結(jié)果
未添加安定劑前的切片圖與蝕刻因子E.F.
添加JFR-300安定劑后的切片圖與蝕刻因子E.F.
?獨(dú)立線路 ?密集線路區(qū)
添加JFR-300安定劑后的切片圖與蝕刻因子E.F.
2D密集細(xì)線路間距觀察比較
?無添加JFR-300 ?有添加JFR-300COMMENT
:此料號(hào)間距最小約1.1 mil ，無添加JFR-300發(fā)現(xiàn)有殘銅的現(xiàn)象，會(huì)造成產(chǎn)品短路或報(bào)廢問題COMMENT
:此料號(hào)有添加JFR-300，明顯有將最小1.1 mil的線距解開；所以針對(duì)越細(xì)小線路功效越明顯。
40um/40um線寬線距比較:
?無添加JFR-300 ?有添加JFR-300COMMENT
:無添加JFR-300獨(dú)立線路與密集線路側(cè)蝕1.854mil?0.816mil=1.038mil ，需要大量補(bǔ)償線寬線距，造成線路轉(zhuǎn)彎過細(xì)超出規(guī)范。
COMMENT:有添加JFR-300獨(dú)立線路與密集線路側(cè)蝕1.446mil-1.038=0.408mil ，所以針對(duì)獨(dú)立線路的補(bǔ)償，降低大量補(bǔ)償之問題。
(附件)大地區(qū)某工廠JFR-300測試報(bào)告?目的：
測試酸性蝕刻添加劑對(duì)客戶端蝕刻因子改善狀況。
?制程：
外層線
?測試狀況描述：
質(zhì)量及產(chǎn)能要求
?測試狀況描述：
2.設(shè)備及藥液狀況：
試車結(jié)論:
無線細(xì)及線距不足狀況，線距不足改善約50%左右。
2.蝕刻因子要求>4，測試結(jié)果5.0-6.28，達(dá)到客戶需求。
?蝕刻因子數(shù)據(jù)
?蝕刻因子數(shù)據(jù)
